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氦检机设备操作原理

发布日期:2020-09-21
信息摘要:
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.

离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.

分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上.

收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.

冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.


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